在每次使用完壓電式霧化器之后，需要對其口含嘴和管道進行消毒，機器外部擦拭一下，放掉貯存在水槽里的水并晾干，清洗存放藥液的槽后再次晾干即可。對于壓電式霧化器中的空氣過濾器，要保證其清潔，當發現變臟時，建議及時更換霧化器。如果家中沒有相關的消毒藥物，可拆開霧化管的面罩管子和霧化杯，將它的管道、霧化杯和面罩沖洗干凈，用開水燙洗后用手臂輕輕地甩出多余的水分，放在干凈的抹布或者紙巾上晾干即可。治療結束之后，要保證它的干燥，避免下次使用時感染。也需要對壓電式霧化器中裝藥的杯子進行清洗和消毒，防止污染，這個裝藥的杯子可以用開水進行消毒，一般來說，時隔三天就應該進行一次消毒。在平時使用完霧化器之后，用清水將其沖洗干凈。

　　以一個普通的一次性杯子的大小為標準，大約是240毫升，將壓電式霧化器的杯子和面罩浸泡在由三杯水和一杯白醋混合的液體中，浸泡需要半個小時，浸泡完畢后霧化杯和面罩取出，再用溫水對霧化杯和面罩進行好好的沖洗，沖洗完畢后，將霧化杯和面罩放在干凈的抹布或者紙巾上，晾干即可。建議一周進行兩次左右這樣的大清洗。
　　可以使用百分之75酒精對霧化器的管道進行擦拭消毒，擦拭后自然晾干即可下次使用。也可以將壓電式霧化器的內面和外面噴灑上一層百分之75酒精，再晾干。不過因為霧化面罩僅個人使用，通常不會出現交叉感染，但也是一種可選擇的消毒方式。